Hybridizovaný atom P má všechny čtyři orbitaly hybridizované. Na třech jsou navázány atomy F, čtvrtý orbital je obsazený elektronovým párem. Silně polární vazba P-F má podobné "odpudivé" schopnosti jako volný pár na čtvrtém orbitalu. Výsledkem je jen mírně deformovaný tetraedr.
